使用不同種類的催化劑，利用其可以有效降低反應活化能的原理，使VOCs在溫度比較低的情況下，將其完全氧化為二氧化碳和水。不需要高溫，大部分碳氫化合物可被氧化。且催化劑應高活化能力、高熱穩定能力和水熱穩定能力，絕大部分碳氫化合物可在被其氧化，并且去除率高達95%以上，但是催化劑有一定的使用壽命，且在催化劑的使用過程中，廢氣的濕度和種類對催化劑的催化氧化效果有很關鍵的影響，如果廢氣中出現其他物質，很可能會引發催化劑的中毒，故優質的催化劑應具備高活化能力、高熱穩定能力和水熱穩定能力等特點。

　　通過催化、直接燃燒之間的對比，可知催化燃燒不僅可以利用不同種類的催化劑，而且處理能力較強，沒有二次污染，條件限制不大，是目前使用較為廣泛的一種處理技術，符合環保要求，因而被廣泛應用。